Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Flat rates on future silicon-wafers - precision grinding

 
: Klocke, F.; Gerent, O.; Pähler, D.; Jakob, A.

Industrial diamond review : IDR 60 (2000), Nr.2, S.149-157
ISSN: 0019-8145
ISSN: 0959-8294
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IPT ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-37740.html