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Vorrichtung zur optischen Bestimmung der Oberflächengeometrie einer dreidimensionalen Probe

DEVICE FOR OPTICALLY DETERMINING THE SURFACE GEOMETRY OF A THREE-DIMENSIONAL SAMPLE
 
: Taphanel, Miro

DE 201110117523 A: 20111103
Deutsch
Patent
Fraunhofer IOSB ()

Abstract
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum optischen Bestimmen der Oberflächengeometrie einer dreidimensionalen Probe mit einer polychromatischen Lichtquelle, einer im Strahlengang der Lichtquelle angeordneten Spaltblende, einer in diesem Strahlengang nach der Spaltblende angeordneten, dispersiven und fokussierenden optischen Anordnung, die so ausgebildet und/oder angeordnet ist, dass sie das Abbild der Spaltblende für unterschiedliche Wellenlängen im Spektrum der Lichtquelle auf unterschiedliche, auf einer vordefinierten Oberfläche (Fokuslinienfläche) im Raum voneinander beabstandet liegende Linien fokussiert, und einer abbildenden optischen Anordnung, die zumindest Abschnitte der Fokuslinienfläche und/oder mehrere, bevorzugt alle der Fokuslinien auf ein und dieselbe,; von einem ortsauflösenden und wellenlängenauflösenden Nachweiselement abtastbare oder abgetastete Linie (Abtastlinie) im Raum fokussiert, wobei die Probe so im Raum positionierbar ist oder positioniert ist, dass sie die Fokuslinienfläche schneidet.

 

The invention relates to a device for optically determining the surface geometry of a three-dimensional sample, comprising a polychromatic light source, a slit diaphragm arranged in the beam path of the light source, a dispersive and focusing optical assembly arranged in said beam path after the slit diaphragm, said optical assembly being designed and/or arranged in such a way that said optical assembly focuses the image of the slit diaphragm for different wavelengths in the spectrum of the light source onto different lines lying at a distance from one another in space on a predefined surface (focus line surfaces), and an imaging optical assembly, which focuses at least sections of the focus line surface and/or several, preferably all of the focus lines onto one and the same line (scanning line) in space, which line is or can be scanned by a spatially resolving and wavelength resolving detection element, wherein the sample is or can be positioned in space in such a way that the sample intersects with the focus line surface.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-374347.html