Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Untersuchung des Korrosionsverhaltens von kobalthaltigen Dünnschichten für den Einsatz in der Halbleitertechnologie

 
: Nagy, Nicole
: Kalies, Grit; Uhlig, Benjamin

Dresden, 2015, 81 S.
Dresden, Hochschule für Technik und Wirtschaft, Master Thesis, 2015
Deutsch
Master Thesis
Fraunhofer IPMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-374261.html