Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Modulare aktive Probecard zur Systemcharakterisierung von mikro-elektromechanischen Sensoren am Beispiel von Gyroskopen

 
: Weidlich, S.; Forke, R.; Billep, D.; Konietzka, S.; Koehler, D.; Hiller, K.; Gessner, T.

Saile, Volker (Chairman) ; VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-:
MEMS, Mikroelemente, Systeme. Proceedings CD-ROM : MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26. - 28. Oktober 2015 in Karlsruhe
Berlin: VDE-Verlag, 2015
ISBN: 978-3-8007-4100-7
S.595-598
MikroSystemTechnik Kongress <6, 2015, Karlsruhe>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-372267.html