Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Electrically tunable Fabry-Pérot interferometer with inherent compensation of the influence of gravitation and vibration

 
: Meinig, M.; Kurth, S.; Helke, C.; Seifert, M.; Hiller, K.; Ebermann, M.; Neumann, N.; Gessner, T.

Fraunhofer-Institute for Electronic Nano Systems -ENAS-, Chemnitz; Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration -IZM-, Berlin:
Smart Systems Integration 2015 : 9th International Conference and Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems - MEMS, NEMS, ICs and Electronic Components, Copenhagen, Denmark, 11 - 12 March 2015
Aachen: Apprimus-Verlag, 2015
ISBN: 978-3-86359-296-7
S.204-211
Smart Systems Integration Conference (SSI) <2015, Copenhagen>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-372263.html