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Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Topografie einer Oberfläche

 
: Werling, Stefan; Heizmann, Michael

:
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DE 102014210024 A1: 20140526
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IOSB ()

Abstract
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zur Bestimmung der Topografie einer Oberflaeche (31) eines Prueflings (3), mit zumindest einer Einrichtung (10) zur Erzeugung eines Pruefbildes, und zumindest einer Bilderfassungseinrichtung (2), und zumindest einer Aufnahmevorrichtung fuer den Pruefling (3), welche so positioniert ist, dass bei Betrieb der Vorrichtung (1) das Pruefbild von der Oberflaeche (31) des Prueflings (3) auf die Bilderfassungseinrichtung (2) reflektierbar ist, wobei die Vorrichtung weiterhin einen Strahlteiler (4) enthaelt, welcher dazu eingerichtet ist, das Pruefbild auf die Oberflaeche (31) des Prueflings (3) und die Bilderfassungseinrichtung (2) zu lenken wobei die Einrichtung (10) zur Erzeugung eines Pruefbildes keine telezentrische Lichtquelle enthaelt. Weiterhin betrifft die Erfindung ein entsprechendes Verfahren zur Bestimmung der Topografie einer Oberflaeche (31) eines Prueflings (3).

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-372181.html