Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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In-situ spectroscopic ellipsometry in vertical furnace - monitoring and control of high-temperature processes

 
: Petrik, P.; Schneider, C.

:

Vacuum 61 (2001), Nr.2-4, S.427-434
ISSN: 0042-207X
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-37011.html