Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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In-situ measurement of the crystallization of amorphous- silicon in a vertical furnace using spectroscopic ellipsometry

 

:

Thin solid films 383 (2001), Nr.1-2, S.235-240
ISSN: 0040-6090
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-37010.html