Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Optical in-situ measurement of the dissolution rate of a Silica-Czochralski-crucible with silicon melt and comparison to ex-situ measurements

 
: Mühe, A.; Müller, G.

:

Microelectronic engineering 56 (2001), Nr.1-2, S.147-152
ISSN: 0167-9317
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-37000.html