Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Silicon oxide films from the Plasmodul®

 
: Walker, M.; Baumgärtner, K.M.; Feichtinger, J.; Kaiser, M.; Schulz, A.; Räuchle, E.

:

Vacuum 57 (2000), Nr.4, S.387-397
ISSN: 0042-207X
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer ICT ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-36893.html