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2015
Conference Paper
Titel
Reinraumplanung und Abnahmemessungen
Alternative
Fundamentals of cleanliness technology and clean manufacturing
Abstract
Zur effizienten Realisierung von Reinräumen ist eine zielgerechte Planung notwendig. Im Vortrag wurden die verschiedenen Planungsphasen beschrieben und mit Beispielen untersetzt. Um den tatsächlichen Reinheitsanforderungen von realen Produkten zu entsprechen, wurde beschrieben, wie aus Funktionsmaßen, Schichtdicken, Strukturbreiten kritische Partikelgrößen, Luftreinheitsklassen und Strömungsformen abgeleitet werden. Zu Überprüfung der Qualität von Reinräumen wurden verschiedene Abnahmemessungen erläutert. Hierzu zählen Sichtprüfung, Filterlecktest, Bestimmung von Luftgeschwindigkeiten, Strömungsform, Differenzdrücken, Volumenstrommessung und Nachweis der Luftreinheitsklasse sowie VOC und biologische Kontaminationen.