Fraunhofer-Gesellschaft

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Quality control of SiC materials by optical detection of defects

Presentation held at Aixtron user meeting at ICSCRM 2015, Giardini Naxos, Italy, October, 4th - 9th, 2015
Qualitätskontrollmessungen an SiC-Material durch optische Detektion der Defekte
 
: Kallinger, Birgit; Kaminzky, Daniel; Roßhirt, Katharina; Berwian, Patrick; Friedrich, Jochen; Oppel, Steffen

:
Präsentation urn:nbn:de:0011-n-3640481 (497 KByte PDF)
MD5 Fingerprint: 4489725301715dcce04335b993c02f6c
Erstellt am: 20.10.2015


2015, 21 Folien
Aixtron User Meeting <2015, Giardini Naxos>
International Conference on Silicon Carbide and Related Materials (ICSCRM) <16, 2015, Giardini Naxos>
Bayerische Forschungsstiftung BFS
AZ-1028-12; SiC-WinS
Englisch
Vortrag, Elektronische Publikation
Fraunhofer IISB ()
quality control; silicon carbide; defects; uv-photoluminescence

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-364048.html