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2015
Journal Article
Titel
Flash lamp annealing of ITO thin films on ultra-thin glass
Titel Supplements
Improvement of the electrical and optical properties
Alternative
Blitzschnelles Tempern von ITO-Dünnschichten auf ultra-dünnem Glas
Abstract
Ultra-fast thermal annealing of thin films with annealing times of few milliseconds are faster und more energy efficient than conventional furnace annealing methods. By using flash lamp annealing, only the surface is heated while the substrate remains cold. This allows the refinement of indium-tin-oxide films on rigid and ultra-thin flexible glass and improves their conductivity and transmittance.
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Die ultra-schnelle Nachbehandlung von Dünnschichten mit Behandlungszeiten von einigen Millisekunden ist bedeutend schneller und energieeffizienter als konventionelle Ofen-Temperverfahren. Bei der Behandlung mit Blitzlampen wird nur die Oberfläche erhitzt, das Substrat hingegen bleibt kalt. Auf diese Weise können Indium-Zinn-Oxid Schichten auf Glas und ultra-dünnem Glas konfektioniert und deren Leitfähigkeit und Transmission verbessert werden.