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Konferenzschrift
Abscheidung transparenter abriebfester Schichten auf Kunststoff- und Metallsubstraten durch plasmaaktivierte PVD-Hochratebeschichtung
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2005
Conference Paper
Titel
Abscheidung transparenter abriebfester Schichten auf Kunststoff- und Metallsubstraten durch plasmaaktivierte PVD-Hochratebeschichtung
Author(s)
Morgner, H.
Metzner, C.
Rögner, F.-H.
Zywitzki, O.
Hauptwerk
Schichten auf Glas und Polymeren - neue Anwendungen für Optik, Elektronik und Umwelt
Konferenz
Congress Industrielle Oberflächentechnik 2005
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP