Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Verschleißarme Beschichtungen für Mikroaktoren

 
: Küster, R.; Bandorf, R.; Lüthje, H.; Bräuer, G.; Gatzen, H.-H.

Zengerle, R. ; Bundesministerium für Bildung und Forschung -BMBF-; Verband der Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik -VDE-; VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 : 10. bis 12. Oktober 2005 in Freiburg
Berlin: VDE-Verlag, 2005
ISBN: 3-8007-2926-1
ISBN: 978-3-8007-2926-5
S.119-121
Mikrosystemtechnik Kongress <2005, Freiburg>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IST ()

Abstract
Wesentliche Verbesserungen für das Verschleißverhalten von Mikrokomponenten können mit Hilfe ultradünner Beschichtungen erreicht werden. Für den Einsatz in tribologisch belasteten Mikrobauteilen eignen sich insbesondere verschleißarme Hartstoffschichten mit Schichtdicken im Bereich weniger Nanometer. Für Anwendungen in mikroaktorischen Komponenten wurden unterschiedliche dünne Beschichtungen hergestellt und hinsichtlich ihres Verschleißverhaltens überprüft. Schwerpunktmäßig wurden amorphe, wasserstoffhaltige und wasserstofffreie Kohlenstoffschichten charakterisiert. Die vorgestellten Ergebnisse beruhen auf Untersuchungen mit speziell hergestellten Testern und Nanoscratchexperimenten, welche mit Hilfe einer Kombination aus Rastersondenmikroskop und Nanoindentor durchgeführt wurden.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-35691.html