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VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON DETEKTIONSSYSTEMEN MIT PLANAREN ARRAYS
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Title
VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON DETEKTIONSSYSTEMEN MIT PLANAREN ARRAYS
Date Issued
2005
Author(s)
Bredehorst, R.
Hintsche, R.
Seitz, R.
Gumbrecht, W.
Patent No
1999-19916867
Language
de
Institute
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT
Link
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=EP&NR=920704AW
Patenprio
DE 1999-19916867 A: 19990414