Options
2015
Journal Article
Titel
MOC-Kondensationsrate - Neue Bewertungszahl für die Leistungsbeurteilung von Reinräumen?
Titel Supplements
Organische Kontaminationen auf Oberflächen und Bestimmung deren Kondensationsrate
Abstract
Mit einer entsprechenden Reinraumumgebung erreicht man je nach Anforderung und technischer Ausstattung eine definierte kontrollierte partikuläre Reinheit der Atmosphäre im Reinraum. Die nach der Filtration verbleibende Restkonzentration an Partikeln wird in Abhängigkeit deren Größenverteilung als ISO-Klasse nach ISO 14644-1 ausgedrückt. Eine weitere immer wichtiger werdende Kontaminationsart für reine Produktionsumgebungen sind luftgetragene chemische Verbindungen (ACC - airborne contamination by chemicals), welche sich beispielsweise auf Produktaberflächen niederschlagen können. Die ACeKonzentration wird gemäß ISO 14644-8 als eine ISO-ACC-Kiasse (x) gemäß Tabelle 1 ausgedrückt. Tatsächlich prozesskritisch sind hingegen chemischen Verbindungen, welche auf Produktoberflächen kondensieren und folglich eine entsprechende Oberflächenkontamination verursachen. Diese Kontaminationsart wird als SCC (surface contamination by chemicals) bezeichnet. Deren Konzentration wird nach ISO 14644-1 0 als eine ISO-SCC-Kiasse (x) gemäß Tabelle 1 ausgedrückt.