Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Dicing of thin Si wafers with a picosecond laser ablation process

 
: Fornaroli, C.

LIA Today 22 (2014), Nr.5, S.10-11
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer ILT ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-351721.html