Fraunhofer-Gesellschaft

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Innenbehandlung und -beschichtung von gedeckelten mikrofluidischen Systemen

 
: Eichler, M.; Hacker, J.; Thomas, M.; Klages, C.-P.

Zengerle, R. ; Bundesministerium für Bildung und Forschung -BMBF-; Verband der Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik -VDE-; VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 : 10. bis 12. Oktober 2005 in Freiburg
Berlin: VDE-Verlag, 2005
ISBN: 3-8007-2926-1
ISBN: 978-3-8007-2926-5
S.107-110
Mikrosystemtechnik Kongress <2005, Freiburg>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IST ()

Abstract
In diesem Beitrag wird ein neues, bei Atmosphärendruck arbeitendes Plasmaverfahren zur Innenbehandlung (Oberflächenmodifizierung oder -beschichtung) von Mikrofluidiksystemen vorgestellt, welches völlig neue Produktionsprozesse erlaubt. Mit diesem Verfahren ist es möglich, auch bereits gedeckelte Systeme nachträglich in den Strukturen zu beschichten oder zu funktionalisieren und damit z. B. zu hydrophilisieren. Die Beschichtungen wurden mit einem FTIR-Mikroskop und Befüllungsexperimenten charakterisiert. Um eine gleichmäßige Schichtverteilung in den Kanälen zu erreichen, wurde die Schichtdickenverteilung in Abhängigkeit von der elektrischen Feldrichtung untersucht. Die Schichtabscheidungsrate wurde als Funktion der Gasflussgeschwindigkeit, der Pulsung und der Elektrodenspannung betrachtet.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-34909.html