Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Untersuchung verschiedener Methoden zur Prozeß- und Maschinenüberwachung in der Halbleiterfertigung

 
: Rettig, C.

Aachen: Shaker, 1999, XII, 151 S. : graph. Darst.
Zugl.: Duisburg, Univ., Diss., 1999
Berichte aus der Halbleitertechnik
ISBN: 3-8265-6820-6
Deutsch
Dissertation
Fraunhofer IMS ()
Fertigungsüberwachung; Halbleiter; Prozeßüberwachung; Qualitätssicherung

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-346.html