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Bildgebender Strahlungssensor

 
: Hofmann, Ulrich; Weiß, Manfred; Janes, Joachim; Senger, Frank

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DE 102013019560 A1: 20131122
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer ISIT ()

Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft einen bildgebenden Strahlungssensor mit mindestens einem Detektionselement, das als mikromechanischer Resonator an einem Substrat ausgebildet ist und die zu detektierende Strahlung absorbiert. Der Resonator wird mit einer Anregungseinrichtung in eine Resonanzschwingung versetzt und eine Verschiebung der Resonanzfrequenz des Detektionselementes bei Strahlungseinwirkung mit einer Detektionseinrichtung erfasst. Der Strahlungssensor zeichnet sich dadurch aus, dass er eine Scaneinrichtung mit einem ein- oder mehrachsig kippbaren Scanelement aufweist, über dessen Verkippung Strahlung aus unterschiedlichen Richtungen mit dem Detektionselement erfassbar ist. Der bildgebende Sensor lässt sich platzsparend realisieren und kostengünstig herstellen.

 

US2015144795A [EN] The present invention relates to a radiation imaging sensor with at least one detection element, which is implemented on a substrate as a micromechanical resonator and which absorbs the radiation to be detected. The resonator is set into a resonant oscillation with an excitation device and a shift in the resonance frequency of the detection element under exposure to radiation is detected with a detection device. The radiation sensor is characterized by the fact that it comprises a scanning device with a single-axis or multi-axis tiltable scanning element. The facility to tilt the device means that the detection element can be used to detect radiation from different directions. The imaging sensor can be realized in a compact manner and be economically produced.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-345471.html