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Verfahren zur Vorbehandlung einer Substratoberfläche, Verfahren zur Beschichtung der Substratoberfläche und Verfahren zum Verbinden eines Substrats mit einem Element

 
: Ihde, Jörg

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DE 102013017107 A1: 20131015
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IFAM ()

Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Vorbehandlung einer Oberfläche eines Substrats (50), insbesondere für einen nachfolgenden Klebprozess, wobei bei dem Verfahren durch eine Entladung zwischen Elektroden (16; 5, 32) in einem Prozessgas (18) ein Atmosphärendruckplasma erzeugt wird, mindestens eine der Elektroden eine Opferelektrode (16) ist, von der durch die Entladung Material abgetragen wird, es sich bei dem abgetragenen Material um Partikel handelt und/oder aus dem abgetragenen Material Partikel entstehen, und die Partikel so auf der Oberfläche des Substrats abgeschieden werden, dass sie an der Oberfläche des Substrats zumindest teilweise freiliegen. Die auf der Oberfläche des Substrats abgeschiedenen Partikel sind metallhaltige oder metallionenhaltige Partikel.; Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Beschichtung einer so vorbehandelten Substratoberfläche und ein Verfahren zum Verbinden eines Substrats, das eine so vorbehandelte Substratoberfläche aufweist, mit einem Element. Die Erfindung betrifft überdies ein durch das Vorbehandlungsverfahren erhältliches Vorbehandlungsprodukt und durch das Beschichtungsverfahren und das Verbindungsverfahren erhältliche Produkte.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-345440.html