Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
Positionsbestimmung von Microscannerspiegeln mit integrierten piezoresistiven Sensoren
:
Conrad, H.
Dresden, 2005, XIV, 182 S.
Dresden, Hochschule für Technik und Wirtschaft, Dipl.-Arb., 2005
Deutsch
Diplom-Arbeit
Fraunhofer IPMS
(
)
Scannerspiegel
;
Sensor
;
Dünnschichttechnik
:
http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-33841.html
