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Smart Fabrication. Logistical Center for Sorting and Stocking LOCSS

Abschlussbericht. BMBF 01 M 297 0 D. Joint project no. 01004580
 
: Kaufmann, T.; Schüle, A.
: Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart

:
Volltext (672 KByte; PDF; )

Stuttgart, 2000, 19 S.
Deutsch
Bericht, Elektronische Publikation
Fraunhofer IPA ()
Smart Fabrication CIM

Abstract
Ziel des Projektes ist es, die Grundlagen für ein hochentwickeltes und flexibles logistisches Werkzeug zu schaffen, mit dem halbleiterherstellende Betriebe ausgestattet werden können, die sowohl mit Einzelscheiben als auch Batchprozeßanlagen produzieren und die einen hohen Standard an logistischen Waferverschiebungen haben.
Die potentielle Zielgruppe eines solchen Systems sind Halbleiterhersteller, die eine große Anzahl von Produkten in kleinen Losgrößen produzieren und somit hochflexibel fertigen müssen. Das logistische System wird jedoch für die Anwendung in jeder automatisierten Halbleiterherstellung vollständig einsetzbar sein, in der die Notwendigkeit besteht, kleine Losgrößen oder Unterlose zu erstellen und die Wafer somit auf irgendeine Weise zu identifizieren und umzusortieren.
Dies geschieht durch die Konzeption eines vollautomatischen Systems, das in seiner Sortierfunktion Sortieralgorithmen zur intelligenten Zusammenstellung von Mischlosen beinhaltet, sowie die einzelnen Wafer identifiziert und umsortiert. Dadurch wird eine optimale Loszusammenstellung zur Bestückung der Prozeßanlagen erreicht. Eine Pufferfunktion sorgt dafür, dass die neu zusammengestellten Lose und Unterlose zu einem geeigneten Zeitpunkt in den Produktionsprozeß eingeschleust werden. Auf diese Weise wir eine vollständige Auslastung der Produktionsanlagen und ein maximaler Durchsatz erreicht. Im Konzept soll das sogenannte SMIF (Standard Mechanical Interface) in den konzeptionell möglichen Ausführungsformen für 200mm und 300mm Substratgrößen in der Bottom-SMIF- und der Side-SMIF-Ausführungen (für 300 mm) vorgesehen werden. Das Beladen des Systems soll sowohl durch ein schienengebundenes oder fahrerloses Transportsystem auch manuell möglich sein. Zusätzlich verfügt das Konzept über Möglichkeiten zur Losidentifikation (Barcode, induktiv, Infrarot, etc.)

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-33818.html