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Verfahren zum Abtragen von sprädhartem Material mittels Laserstrahlung

METHOD FOR REMOVING BRITTLE-HARD MATERIAL BY MEANS OF LASER RADIATION
 
: Schulz, Wolfgang

:
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DE 102013005136 A1: 20130326
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer ILT ()

Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abtragen von sprödhartem Material mittels Laserstrahlung, wobei sich durch den Abtrag eine Abtragsvertiefung mit einem Flankenwinkel w der Flächen oder Flanken der Abtragsvertiefung in dem Material ausbildet, wobei der Flankenwinkel w als der Winkel zwischen der Oberflächennormalen auf der Abtragsvertiefung und der Oberflächennormalen auf der nicht abgetragenen Oberfläche des Materials definiert ist, und mit einer Eintrittskante, die als ein räumlich ausgedehnter Bereich der Oberfläche des Materials, wo ein unveränderter und damit nicht abgetragener Teil der Oberfläche des Materials in die Abtragsvertiefung übergeht, definiert ist, und an der räumliche Anteile der Leistung der Laserstrahlung in das nicht abgetragene Material gebrochen und fokussiert werden, das dadurch gekennzeichnet ist, dass der Anteil der Leistung der Laserstrahlung, der von der fokussierenden Wirkung der Eintrittskante erfasst wird, so eingestellt wird, dass die Intensität im Material, die durch die Fokussierung der Eintrittskante erreicht wird, einen Schwellenwert [rho]damage für die Schädigung des Materials nicht erreicht.

 

The invention relates to a method for removing brittle-hard material by means of laser radiation, wherein a removal depression having a flank angle of the flanks of the removal depression forms in the material as a result of the removal, with an entrance edge, which is defined as a spatially extended region of the surface of the material where an unchanged and thus unremoved part of the surface of the material merges into the removal depression, at which spatial portions of the power of the laser radiation are refracted and focused into the volume of the unremoved material.; The distribution of the laser radiation is set such that the entrance edge assumes a small spatial extent such that that portion of the power of the laser radiation which is included in the focusing effect of the entrance edge does not suffice to generate a threshold value Pdamage for the electron density in the volume of the material, in order thus to avoid damage to the material.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-337306.html