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Verfahren und Vorrichtung zum Abtragen von sprädhartem, für Laserstrahlung transparentem Material mittels Laserstrahlung

METHOD AND DEVICE FOR REMOVING BRITTLE-HARD MATERIAL WHICH IS TRANSPARENT TO LASER RADIATION, BY MEANS OF LASER RADIATION
 
: Schulz, Wolfgang

:
Frontpage ()

DE 102013005135 A1: 20130326
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer ILT ()

Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abtragen von sprödhartem Material, das ein räumliches Volumen einer gegebenen Dicke zwischen einer Oberseite und einer Unterseite aufweist, mittels Laserstrahlung, und das Material eine definierte optische Eindringtiefe aufweist, die grösser oder gleich dessen Dicke ist. Die Laserstrahlung fällt unter einem definierten Einfallswinkel zu der Flächennormalen der Oberseite ein; diese Laserstrahlung wird als primäre Laserstrahlung bezeichnet. Die primäre Laserstrahlung wird an der Unterseite des Materials zumindest teilweise reflektiert, so dass in dem Volumen des Materials durch die Reflexion eine sekundäre Laserstrahlung erzeugt wird. Für die Bearbeitung des sprödharten Materials wird dieses von einem weiteren Material auf der Unterseite formschlüssig hinterlegt. Die Erfindung betrifft auch eine entsprechende Vorrichtung.

 

WO14154345A2 [EN] The invention relates to a method for removing brittle-hard material having a spatial volume of a given thickness between a top side and an underside by means of laser radiation, and the material has a defined optical penetration depth which is greater than or equal to the thickness of said material. The laser radiation is incident at a defined angle of incidence with respect to the surface normal of the top side; said laser radiation is designated as primary laser radiation. The primary laser radiation is at least partly reflected at the underside of the material, such that secondary laser radiation is generated in the volume of the material as a result of the reflection. For the processing of the brittle-hard material, the latter is backed by a further material on the underside in a positively locking manner. The invention also relates to a corresponding device.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-337305.html