Fraunhofer-Gesellschaft

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Neue multiskalige Mess- und Prüfstrategien für die Produktion von Mikrosystemen

 
: Wiesendanger, T.; Osten, W.; Pannekamp, J.; Regin, J.; Westkämper, E.

Zengerle, R. ; Bundesministerium für Bildung und Forschung -BMBF-; Verband der Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik -VDE-; VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 : 10. bis 12. Oktober 2005 in Freiburg
Berlin: VDE-Verlag, 2005
ISBN: 3-8007-2926-1
ISBN: 978-3-8007-2926-5
S.677-681
Mikrosystemtechnik Kongress <2005, Freiburg>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Meßstrategie; Mikrosystem; Sensor; Mikrooptik

Abstract
Mit wachsender wirtschaftlicher Bedeutung von mikro- und nanostrukturierten Objekten nimmt die Forderung nach Verfahren zur umfassenden und wirtschaftlichen Charakterisierung entsprechender Funktionselemente zu. Existierende Messverfahren bewegen sich stets im Spannungsfeld zwischen Auflösungsvermögen und Messfeldgröße. Werden Sensoren in unterschiedlichen Auflösungsskalen durch intelligente, automatisierbare Messstrategien zusammengeführt, lassen sich die Vorteile der jeweiligen Sensorkonzepte optimal kombinieren.
Zielsetzung ist hierbei die multiskalige Erfassung, Charakterisierung und Prüfung von geometrischen und nichtgeometrischen funktionsrelevanten Kenngrößen im Mikro- und Nanobereich. Es werden Methoden für multiskalige Untersuchungen am Beispiel der Defekterkennung an Mikrolinsenarrays vorgestellt.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-33514.html