Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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k-restore Process with Plasma Enhanced Fragmentation for Damaged ULK Materials — A DFT and MD Study

 
: Foerster, A.

Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft 50 (2015), Nr.3
ISSN: 0420-0195
ISSN: 0372-5448
Deutsche Physikalische Gesellschaft (DPG Jahrestagung) <79, 2015, Berlin>
Deutsche Physikalische Gesellschaft (DPG Frühjahrstagung) <2015, Berlin>
Englisch
Abstract
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-332485.html