Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Investigation of low temperature wafer bonding using plasma activation
| Michel, B. (Hrsg.); Gessner, T.:
Smart systems integration for micro- and nanotechnologies : Honorary volume on the occasion of Thomas Gessner's 60th birthday
Dresden: ddp Goldenbogen, 2014
ISBN: 978-3-932434-78-5
S.521-528 |
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| Englisch |
| Aufsatz in Buch |
| Fraunhofer ENAS () |