Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Investigation of a new AC power supply for deposition of highly insulating alumina films

 
: Carreri, F.C.; Bandorf, R.; Gerdes, H.; Bräuer, G.

Depla, Diederik (Ed.):
RSD 2014, Reactive Sputter Deposition Symposium : Ghent, Belgium, 11 & 12 December 2014
Ghent, 2014
10 S.
Reactive Sputter Deposition Symposium (RSD) <13, 2014, Ghent>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IST ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-327925.html