Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Oberflächenmodifizierung mit Licht

 
: Schmüser, Christian

:
Volltext urn:nbn:de:0011-n-3278798 (8.0 MByte PDF)
MD5 Fingerprint: 3980af5ef0e9e4ad4a48c8de237cec9c
Erstellt am: 18.2.2015


Bremen: Fraunhofer IFAM, 2015, 37 S.
Deutsch
Bericht, Elektronische Publikation
Fraunhofer IFAM ()
Oberflächenmodifizierung; Licht; Abbau; Ätzen; surface modification; light; etching; silicon

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-327879.html