Fraunhofer-Gesellschaft

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An asymmetry of conduction mechanisms and charge trapping in thin high-k Hf(x)Ti(y)Si(z)O films

 
: Paskaleva, A.; Bauer, A.J.; Lemberger, M.

:

Journal of applied physics 98 (2005), Nr.5, Art. 053707, 8 S.
ISSN: 0021-8979
ISSN: 1089-7550
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-32531.html