Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Conduction mechanisms and an evidence for phonon-assisted conduction process in thin high-k Hf(x)Ti(y)Si(z)O films

 
: Paskaleva, A.; Bauer, A.; Lemberger, M.

:

Microelectronics reliability 45 (2005), Nr.7-8, S.1124-1133
ISSN: 0026-2714
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-32526.html