Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

ALD of Nickel Oxide and its Reduction to Nickel for Potential Applications in Interconnects and Spintronics

 
: Wächtler, T.; Sharma, A.; Ahner, N.; Melzer, M.; Mueller, S.; Lehmann, D.; Schäfer, P.; Schulze, S.; Schulz, S.E.; Zahn, D.R.T.; Hietschold, M.; Gessner, T.

MAM 2014, Workshop on "Materials for Advanced Metallization". CD-ROM : Held in Chemnitz, Germany, from March 2-5, 2014, Annual Workshop Devoted to Materials Research, Materials Properties and Interactions
Chemnitz: Technische Universität Chemnitz, 2014
Workshop on "Materials for Advanced Metallization" (MAM) <23, 2014, Chemnitz>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-318182.html