Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Kombination von Laser- und MEMS Technologieprozessen fuer Integrationsstrategien von rolled-up Nano-Architekturen
| TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik:
12. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik 2014. Mikromechanik & Mikroelektronik. CD-ROM : 21./22. Oktober 2014, Chemnitz
Chemnitz: Technische Universität Chemnitz, 2014
ISBN: 978-3-00-047625-9
S.89-93 |
| Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik <12, 2014, Chemnitz> |
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| Deutsch |
| Konferenzbeitrag |
| Fraunhofer ENAS () |