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Hybrider Detektor zum Detektieren elektromagnetischer Strahlung

Electromagnetic radiation detector for wide-band multi-spectral imaging device, has lower detection structure that is arranged within lower semiconductor chip to overlap with upper detection structure arranged within upper chip
 
: Romero, Daniel Durini

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Frontpage ()

DE 102012214690 A1: 20120817
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IMS ()

Abstract
DE102012214690A1 Ein Detektor zur Detektion elektromagnetischer Strahlung hat einen ersten Halbleiterchip (12; 312) mit einem ersten Halbleitermaterial als Substratmaterial und einen zweiten Halbleiterchip (22; 322) mit einem zweiten Halbleitermaterial als Substratmaterial. Das zweite Halbleitermaterial ist unterschiedlich vom ersten Halbleitermaterial. Der erste Halbleiterchip (12; 312) und das zweite Halbleiterchip (22; 322) sind mit gegenueberliegenden Hauptoberflaechen (14, 24) zueinander angeordnet. Der Detektor umfasst eine erste Detektionsstruktur (18; 318) innerhalb des ersten Halbleiterchips (12; 312) und eine zweite Detektionsstruktur (28; 328) innerhalb des zweiten Halbleiterchips (22; 322), die mit der ersten Detektionsstruktur (18; 318) ueberlappend angeordnet ist. Ein Verfahren zur Herstellung eines Detektors zur Detektion elektromagnetischer Strahlung wird ebenfalls beschrieben.

 

The detector has an upper semiconductor chip (12) which is provided with an upper semiconductor material as a substrate material. A lower semiconductor chip (22) differed from the upper semiconductor chip is provided with a lower semiconductor material as the substrate material. The upper and lower semiconductor chips are provided with major surfaces (14,24) opposed to each other. A lower detection structure (28) is arranged within the lower semiconductor chip to overlap with an upper detection structure (18) arranged within upper semiconductor chip. An independent claim is included for a method for manufacturing electromagnetic radiation detector.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-311004.html