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Konferenzschrift
Mehrachsiger piezoelektrischer Aktuator für optische Komponenten
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2013
Conference Paper
Titel
Mehrachsiger piezoelektrischer Aktuator für optische Komponenten
Author(s)
Kampmann, M.
Stoppel, F.
Quenzer, H.-J.
Kaden, D.
Janes, J.
Wagner, B.
Hauptwerk
MikroSystemTechnik Kongress 2013. CD-ROM
Konferenz
MikroSystemTechnik Kongress 2013
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT