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Konferenzschrift
Lorentzkraft-basierter MEMS-3D-Magnetfeldsensor für die Integration zu einer 1-Chip 9D IMU
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2013
Conference Paper
Titel
Lorentzkraft-basierter MEMS-3D-Magnetfeldsensor für die Integration zu einer 1-Chip 9D IMU
Author(s)
Behmüller, M.
Weiss, M.
Claus, M.
Bohse, S.
Schwarzelbach, O.
Schröder, C.
Reimer, K.
Hauptwerk
MikroSystemTechnik Kongress 2013. CD-ROM
Konferenz
MikroSystemTechnik Kongress 2013
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT