Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Untersuchung der Mikro- und Nanorauhigkeit von Oberflächen mittels Streulichtmessung
| VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik -GMA-, Düsseldorf:
Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik : Tagung Stuttgart, 12. und 13. Februar 2003
Düsseldorf: VDI-Verlag, 2003 (VDI-Berichte 1669)
ISBN: 3-18-091669-9
ISSN: 0083-5560
S.43-51 |
| VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik (Tagung) <2003, Stuttgart> |
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| Deutsch |
| Konferenzbeitrag |
| Fraunhofer IOF () |