Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Untersuchung der Mikro- und Nanorauhigkeit von Oberflächen mittels Streulichtmessung

 
: Duparre, A.

VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik -GMA-, Düsseldorf:
Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik : Tagung Stuttgart, 12. und 13. Februar 2003
Düsseldorf: VDI-Verlag, 2003 (VDI-Berichte 1669)
ISBN: 3-18-091669-9
ISSN: 0083-5560
S.43-51
VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik (Tagung) <2003, Stuttgart>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IOF ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-31079.html