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Vorrichtung zur Absorption und/oder Emission von Strahlung, Verfahren zur Herstellung einer solchen Vorrichtung und Verfahren zur Analyse von Fluiden

Production of component, for absorbing and/or emitting radiation, involves reducing thickness of substrate, and forming absorbing and/or emitting element in thickness reduction region by carving material from substrate.
 
: Nurnus, J.; Kuenzel, C.; Lambrecht, A.

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Frontpage ()

DE 2003-10342800 A: 20030916
DE 2003-10342800 A: 20030916
WO 2004-EP5789 A: 20040528
DE 10342800 A1: 20050428
H01L0031
G01N0021
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IPM ()

Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Bauteils zur Absorption und/oder Emission von Strahlung mit den Schritten des Abduennens eines Substrats und dem Herstellen eines Absorptions- und/oder Emissionselements im Bereich der Abduennung, wobei das Absorptions- und/oder Emissionselement (3) durch Herausarbeiten aus einem Material (4, 9) des Substrats (4, 7, 8, 9) hergestellt wird. Weiterhin betrifft die Erfindung eine Vorrichtung (1) zur Absorption und/oder Emission von Strahlung, mit einem in einem abgeduennten Bereich (2) eines Substrats (4, 7, 8, 9) angeordneten Absorptions- und/oder Emissionselement (3), wobei das Absorptions- und/oder Emissionselement (3) das gleiche Material (4, 9) wie ein Material (4, 9) des Substrats (4, 7, 8, 9) umfasst. Darueber hinaus betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Analyse von Fluiden durch Emission von Strahlung durch ein Emissionselement, Durchtritt der Strahlung durch einen Bereich, der mit einem Fluid fuellbar ist, und Absorption der Strahlung, wobei die Emission und/oder die Absorption der Strahlung mit einer obigen Vorrichtung (1) oder einer nach dem obigen Verfahren hergestellten Vorrichtung erfolgt.

 

WO2005036140 A UPAB: 20050603 NOVELTY - Production of a component, for absorbing and/or emitting radiation, involves reducing the thickness of the substrate, and forming an absorbing and/or emitting element (3) in the region of the thickness reduction, by carving a material from the substrate. DETAILED DESCRIPTION - INDEPENDENT CLAIMS are also included for; (1) A device for absorbing and/or emitting radiation; and (2) A process for analyzing fluids by emission and/or absorption of radiation using the above device. USE - For use as an emitter or detector ADVANTAGE - The novel process is simple and reproducible.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-31045.html