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Title
Vorrichtung zum konfokalen optischen Abtasten eines Objekts
Date Issued
2005
Author(s)
Janes, J.
Hofmann, U.
Patent No
2003-10359853
Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum konfokalen optischen Abtasten eines Objekts, mit einer optischen Einrichtung zur Erzeugung eines ersten Fokus eines eingekoppelten optischen Strahls in einer ersten Ebene, einem ersten Spiegel mit einer zentralen Apertur fuer den Durchtritt des optischen Strahls von einer Rueckseite des ersten Spiegels, einem zweiten Spiegel, der dem ersten Spiegel gegenueber so angeordnet ist, dass der von der Rueckseite durch die Apertur des ersten Spiegels hindurchtretende optische Strahl auf den ersten Spiegel reflektiert wird. Die Vorrichtung zeichnet sich dadurch aus, dass der erste Spiegel ein Hohlspiegel und der zweite Spiegel ein um zumindest eine Achse kippbarer Spiegel ist, durch dessen Verkippung ein Bereich einer Objektebene mit dem optischen Strahl abtastbar ist, und dass die optische Einrichtung und der Hohlspiegel so aufeinander abgestimmt sind, dass der optische Strahl nach Reflexion am Hohlspiegel in der Objektebene konfokal zum ersten Fokus in der ersten Ebene einen zweiten Fokus bildet. Die vorliegende Vorrichtung laesst sich auf einfache Weise herstellen und sowohl zur scannenden punktweisen Beleuchtung eines Objekts als auch zum scannenden punktweisen Abtasten des Objekts einsetzen.
DE 10359853 B UPAB: 20050613 NOVELTY - Device for confocal optical scanning of an object comprises an optical arrangement (6) generating a first focal point (13) or a region with small beam cross-section of a coupled optical beam (1) in a first plane (30), a concave first mirror (10) with a central aperture (11) allowing passage of the optical beam from the rear side of the mirror, and a second mirror (12) arranged relative to the first mirror so that the optical beam passing through the aperture is reflected onto the first mirror. The second mirror can be tilted about at least one axis so that a region of an object plane (20) can be scanned with the optical beam. The optical arrangement and the concave mirror are coordinated with each other so that the optical beam after reflection at the concave mirror forms a second focal point (14) in the object plane confocally to the first focal point or the region with small beam cross-section. DETAILED DESCRIPTION - Preferred Features: The concave mirror is a paraboloidal-type reflector. The second mirror is a micromirror. USE - For confocal optical scanning of an object. ADVANTAGE - The device is easy to manufacture.
Language
de
Patenprio
DE 2003-10359853 A: 20031219