Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Multi-Level MOEMS structures for spatial light modulators

 
: Mirabella, Simone

Kızıl, Hüseyin:
MME 2014, 25th Micromechanics and Microsystems Europe Workshop. CD-ROM : August 31 - September 3, 2014, Istanbul, Turkey
Istanbul, 2014
4 S.
Micromechanics and Microsystems Europe Workshop (MME) <25, 2014, Istanbul>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-309277.html