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Pulvermetallurgisch hergestellte Sputtertargets für die Dünnschichttechnik
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2003
Journal Article
Title
Pulvermetallurgisch hergestellte Sputtertargets für die Dünnschichttechnik
Author(s)
Büttner, T.
Böhm, A.
Böhm, H.-D.
Weißgärber, T.
Kieback, B.
Journal
Werkstoffe in der Fertigung
Language
German
Fraunhofer-Institut für Fertigungstechnik und Angewandte Materialforschung IFAM
