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Strukturaufklärung und Messung optischer und mechanischer Eigenschaften funktioneller und kratzfester Plasma-CVDSchichten, hergestellt mittels eines Mikrowellen-Hochrate-Abscheideverfahrens aus TMDSO/O2 -Gemischen

Posterzusammenfassung
 
: Nauenburg, K.-D.; Präfke, C.; Dreher, R.; Schulz, U.

Grünler, Bernd (Ed.) ; Innovent e.V., Jena:
Thementage Grenz- und Oberflächentechnik, ThGOT 2012 und 3. Optik-Kolloquium "Dünne Schichten in der Optik" : 4. - 6. September 2012, Leipzig
Leipzig, 2012
ISBN: 978-3-00-038451-6
S.421
Thementage Grenz- und Oberflächentechnik (ThGOT) <8, 2012, Leipzig>
Optik-Kolloquium Dünne Schichten in der Optik <3, 2012, Leipzig>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ICT ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-307384.html