Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Potentials of the pulse magnetron sputter technology (PMST)

 
: Schiller, S.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.

Bakish, R. ; Bakish Materials Corp., Englewood/N.J.:
Seventh International Conference on Vacuum Web Coating 1993. Proceedings : Miami, Florida, November 10 - 12, 1993
Englewood, NJ, 1993
ISBN: 0-939997-15-0
S.169-183
International Conference on Vacuum Web Coating <7, 1993, Miami/Fla.>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-30192.html