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Hochrate-Sputtertechnik und deren Einsatz in verschiedenen Industriezweigen
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1988
Journal Article
Titel
Hochrate-Sputtertechnik und deren Einsatz in verschiedenen Industriezweigen
Author(s)
Schiller, S.
Heisig, U.
Goedicke, K.
Zeitschrift
Vakuum-Technik
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP