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Alternierendes Ionenplattieren. Ein Beschichtungsverfahren mit periodischer Ioneneinwirkung
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1978
Journal Article
Titel
Alternierendes Ionenplattieren. Ein Beschichtungsverfahren mit periodischer Ioneneinwirkung
Author(s)
Goedicke, K.
Schiller, S.
Heisig, U.
Zeitschrift
Vakuum-Information
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP