Fraunhofer-Gesellschaft

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Advantageous possibilities, design aspects and technical use of double ring magnetron sputter source

 

:

Stals, L.M.M.:
4th International Conference on Plasma Surface Engineering 1994. Papers : Garmisch-Partenkirchen, Germany, September 19 - 23, 1994
New York: Elsevier Science, 1995 (Surface and coatings technology 74/75)
ISSN: 0257-8972
S.85-91 (Vol.1)
International Conference on Plasma Surface Engineering <4, 1994, Garmisch-Partenkirchen>
Englisch
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-30157.html