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Konferenzschrift
Reaktives DC-Hochrate-Sputtern von SnO2 mittels PEM-Regelung
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1990
Conference Paper
Titel
Reaktives DC-Hochrate-Sputtern von SnO2 mittels PEM-Regelung
Author(s)
Kirchhoff, B.
Melde, C.
Schneider, S.
Nedon, W.
Vetters, P.
Schicht, H.
Schmidt, U.
Hauptwerk
10. Tagung Hochvakuum, Grenzflächen, Dünne Schichten 1990. Beiträge. Bd.2
Konferenz
Tagung Hochvakuum, Grenzflächen, Dünne Schichten 1990
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP