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Vorrichtung zur differenzierten Schichtratenmessung von Neutralteilchen und Ionen, Verfahren sowie Verwendung der Vorrichtung

METHOD AND APPARATUS FOR COATING RATE MEASUREMENT
 
: Bandorf, R.; Papa, F.

:
Frontpage ()

DE 102010018748 A: 20100429
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IST ()

Abstract
Vorrichtung (1) zur Schichtratenmessung von Ionen und Neutralteilchen (1), umfassend a) ein eine Messkammer bildendes Gehäuse (2) mit mindestens einer Öffnung (30), b) ein Abschirmgitter (3), das im Bereich der Einlassöffnung (30) des Gehäuses (2) angeordnet ist, sowie c) mindestens eine Vorrichtungdie der Einlassöffnung (30) gegenüber angeordnet und gegenüber dem Abschirmgitter (3) elektrisch isoliert ist.

 

The present invention relates to an apparatus for the differential coating rate measurement of neutral particles and ions. The apparatus is moved to the position of the substrates to be coated or to a defined reference position. The rate is determined by a suitable detector (4), e.g. a crystal oscillator. The apparatus is configured in such a manner as to make it possible to measure the total flow of ions and neutral particles, through a shielding screen (3), and to detect the neutral particles while dismissing the ions. The proportion of ions and also neutral particles in the coating-forming species can thus be measured via differential measurements.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-297839.html